Керамічне покриття з карбіду кремнію

Vetek Semiconductor Керамічне покриття з карбіду кремніюце високоефективне захисне покриття, виготовлене з надзвичайно твердого та зносостійкого матеріалу карбіду кремнію (SiC), який забезпечує чудову стійкість до хімічної корозії та стійкість до високих температур. Ці властивості є вирішальними у виробництві напівпровідників, тому керамічне покриття з карбіду кремнію широко використовується на ключових компонентах обладнання для виробництва напівпровідників.

Специфічна роль керамічного покриття з карбіду кремнію Vetek Semiconductor у виробництві напівпровідниківнаступним чином:

Підвищення довговічності обладнання: Керамічне покриття з карбіду кремнію забезпечує чудовий захист поверхні обладнання для виробництва напівпровідників завдяки надзвичайно високій твердості та зносостійкості. Особливо у високотемпературних, висококорозійних технологічних середовищах, таких як хімічне осадження з парової фази (CVD) і плазмове травлення, керамічне покриття з карбіду кремнію може ефективно запобігти пошкодженню поверхні обладнання внаслідок хімічної ерозії або фізичного зносу, тим самим значно подовжуючи термін служби обладнання та скорочення часу простою, викликаного частою заміною та обслуговуванням.

Підвищення чистоти процесу: У процесі виробництва напівпровідників будь-яке незначне забруднення може спричинити дефекти продукту. Хімічна інертність керамічного покриття з карбіду кремнію дозволяє йому залишатися стабільним в екстремальних умовах, запобігати виділенню частинок або домішок з матеріалу та забезпечувати чистоту навколишнього середовища під час процесу. Це особливо важливо для етапів виробництва, які вимагають високої точності та високої чистоти, таких як PECVD та іонна імплантація.

Оптимізуйте управління температурою: У високотемпературній обробці напівпровідників, такій як швидка термічна обробка (RTP) і процеси окислення, висока теплопровідність керамічного покриття з карбіду кремнію забезпечує рівномірний розподіл температури всередині обладнання. Це допомагає зменшити термічну напругу та деформацію матеріалу, спричинену коливаннями температури, тим самим підвищуючи точність і послідовність виготовлення продукції.

Підтримка складного технологічного середовища: У процесах, які вимагають складного контролю атмосфери, таких як травлення ICP і травлення PSS, стабільність і стійкість до окислення нагрівача з керамічним покриттям з карбіду кремнію забезпечують стабільну роботу обладнання під час тривалої роботи, знижуючи ризик погіршення якості матеріалу або обладнання пошкодження через зміни навколишнього середовища.

Vetek Semiconductorфокусується на виробництві та постачанні високопродуктивнихКерамічне покриття з карбіду кремнію, і прагне надавати передові технології та продуктові рішення для напівпровідникової промисловості.Ми щиро сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Основні фізичні властивостіКерамічне покриття з карбіду кремнію:

Цехи VeTek Semiconductor Керамічне покриття з карбіду кремнію:

Огляд мережі індустрії епітаксії напівпровідникових мікросхем: