Кремнієва епітаксія, EPI, епітаксія, епітаксіальний означає вирощування шару кристала з однаковим напрямком кристала та різною товщиною кристала на одній кристалічній кремнієвій підкладці. Технологія епітаксійного росту потрібна для виробництва напівпровідникових дискретних компонентів та інтегральних схем, оскільки домішки, що містяться в напівпровідниках, включають N-тип і P-тип. Завдяки комбінації різних типів напівпровідникові прилади демонструють різноманітні функції.
Метод росту кремнієвої епітаксії можна розділити на газофазну епітаксію, рідкофазну епітаксію (LPE), твердофазну епітаксію, метод росту хімічного осадження з парової фази широко використовується у світі для забезпечення цілісності решітки.
Типове обладнання для епітаксійного кремнію представлено італійською компанією LPE, яка має епітаксіальний гіпнотичний тор, бочкоподібний гіпнотичний тор, напівпровідниковий гіпнотичний пристрій, носій для пластин тощо. Принципова схема реакційної камери бочкоподібного епітаксіального гіплектора виглядає наступним чином. VeTek Semiconductor може надати бочкоподібний епітаксійний гіпектор пластини. Якість HY-селектора з покриттям SiC дуже зріла. Якість еквівалентна SGL; У той же час VeTek Semiconductor може також надати кремнієву епітаксіальну реакційну порожнину, кварцову насадку, кварцову перегородку, дзвоник та інші повні вироби.
Кремнієвий епітаксіальний привід Вафельний токоприймач бочкоподібного типу Напівпровідниковий приймач Сусцептор із покриттям SiC
Якщо епітаксіальний приймач Приймач млинців Токоприймач з покриттям SiC
CVD SiC Coating Deffle від Vetek Semiconductor в основному використовується в епітаксії Si. Зазвичай використовується з силіконовими подовжувачами. Він поєднує в собі унікальну високу температуру та стабільність CVD SiC Coating Baffle, що значно покращує рівномірний розподіл повітряного потоку у виробництві напівпровідників. Ми віримо, що наша продукція може запропонувати вам передові технології та високоякісні продуктові рішення.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor пропонує повний набір компонентів для реакційних камер кремнієвої епітаксії LPE, що забезпечує тривалий термін служби, стабільну якість і покращений вихід епітаксійного шару. Наш продукт, такий як SiC Coated Barrel Suceptor, отримав відгук від клієнтів. Ми також надаємо технічну підтримку для Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy тощо. Не соромтеся запитувати інформацію про ціни.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor — це фабрика, яка поєднує в собі точну механічну обробку та можливості нанесення покриттів на напівпровідники SiC і TaC. Si Epi Susceptor бочкоподібного типу забезпечує можливості контролю температури та атмосфери, підвищуючи ефективність виробництва в процесах епітаксіального росту напівпровідників. З нетерпінням чекаємо налагодження відносин співпраці з вами.
ДетальнішеНадіслати запитЯк провідний вітчизняний виробник покриттів з карбіду кремнію та карбіду танталу, VeTek Semiconductor може забезпечити точну обробку та однорідне покриття SiC Coated Epi Susceptor, ефективно контролюючи чистоту покриття та продукту нижче 5 ppm. Термін служби продукту можна порівняти з терміном служби SGL. Ласкаво просимо до нас.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є провідним виробником і інноватором набору токоприймачів LPE Si Epi в Китаї. Протягом багатьох років ми спеціалізуємося на покритті SiC і TaC. Ми пропонуємо набір токоприймачів LPE Si Epi, розроблений спеціально для 4-дюймових пластин LPE PE2061S. Ступінь відповідності графітового матеріалу та покриття SiC хороший, рівномірність чудова, а термін служби тривалий, що може покращити продуктивність росту епітаксійного шару під час процесу LPE (рідкофазної епітаксії). Запрошуємо вас відвідати наш завод у м. Китай.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є професійним виробником, постачальником і експортером графітового циліндра, покритого SiC, для EPI. За підтримки професійної команди та передових технологій VeTek Semiconductor може надати вам високу якість за розумними цінами. ми запрошуємо вас відвідати наш завод для подальшого обговорення.
ДетальнішеНадіслати запит