Вафельний носій для човна SiC високої чистоти

VeTek Semiconductor пропонує індивідуальний носій для пластин SiC високої чистоти. Виготовлений з карбіду кремнію високої чистоти, він має прорізи для утримання пластини на місці, запобігаючи її ковзанню під час обробки. За потреби також доступне покриття CVD SiC. Як професійний і потужний виробник і постачальник напівпровідників, VeTek Semiconductor's High purity SiC wafer boat carrier є конкурентоспроможною ціною та високою якістю. VeTek Semiconductor сподівається стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

VeTekSemi Високочистий кремнієвий карбідний носій для човна є важливим компонентом підшипника, який використовується в печах для відпалу, дифузійних печах та іншому обладнанні в процесі виробництва напівпровідників. Вафельний носій для човна SiC високої чистоти зазвичай виготовляється з карбіду кремнію високої чистоти і в основному включає такі частини:

• Опорний корпус човна: конструкція, схожа на дужку, спеціально використовувана для перенесеннякремнієві пластиниабо інші напівпровідникові матеріали.

• Опорна конструкція: Конструкція опорної конструкції дозволяє витримувати великі навантаження при високих температурах і не деформується або не пошкоджується під час обробки високою температурою.

silicon carbide material

матеріал карбід кремнію

Фізичні властивостіПерекристалізований карбід кремнію：

Власність	Типове значення
Робоча температура (°C)	1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище)
Вміст SiC	> 99,96%
Безкоштовний вміст Si	< 0,1%
Насипна щільність	2,60-2,70 г/см3
Видима пористість	< 16%
Міцність на стиск	> 600 МПа
Міцність на холодний вигин	80-90 МПа (20°C)
Міцність на гарячий вигин	90-100 МПа (1400°C)
Теплове розширення @1500°C	4,70*10^-6/°C
Теплопровідність @1200°C	23 Вт/м•К
Модуль пружності	Модуль пружності240 ГПа
Стійкість до термічного удару	Надзвичайно добре

Якщо вимоги до виробничого процесу вищі,CVD покриття SiCможе бути виконано на носієві пластини SiC високої чистоти, щоб зробити чистоту понад 99,99995%, додатково покращуючи його стійкість до високих температур.

Основні фізичні властивості CVD покриття SiC:

Власність	Типове значення
Кристалічна структура	FCC β-фаза полікристалічна, переважно (111) орієнтована
Щільність	3,21 г/см³
Твердість	Твердість за Віккерсом 2500 (навантаження 500 г)
Розмір зерна	2~10 мкм
Хімічна чистота	99,99995%
Теплоємність	640 Дж·кг^-1·К^-1
Температура сублімації	2700 ℃
Міцність на згин	415 МПа RT 4-точковий
Модуль Юнга	430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃
Теплопровідність	300 Вт·м^-1·К^-1
Теплове розширення (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Під час високотемпературної обробки носій для вафельних пластин SiC високої чистоти забезпечує рівномірне нагрівання кремнієвої пластини, щоб уникнути локального перегріву. Крім того, висока термостійкість матеріалу з карбіду кремнію дозволяє йому зберігати структурну стабільність при температурах 1200°C або навіть вище. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Під час процесу дифузії або відпалу консольна лопатка та носій човна з пластин високої чистоти SiC працюють разом. Theконсольне веслоповільно штовхає носій для пластин SiC високої чистоти, який несе кремнієву пластину, у камеру печі та зупиняє її у визначеному положенні для обробки.

Вафельний носій для човна з SiC високої чистоти підтримує контакт із кремнієвою пластиною та фіксується в певному положенні під час процесу термічної обробки, тоді як консольна пластина допомагає утримувати всю конструкцію в правильному положенні, одночасно забезпечуючи рівномірність температури.

Вафельний носій для човна високої чистоти SiC і консольне весло працюють разом, щоб забезпечити точність і стабільність високотемпературного процесу.

VeTek Semiconductorнадає вам індивідуальний носій для пластин SiC високої чистоти відповідно до ваших потреб. Чекаємо на ваш запит.

VeTek SemiconductorПластини SiC високої чистоти:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Гарячі теги: Вафельний носій для човнів SiC високої чистоти, Китай, Виробник, Постачальник, Фабрика, Індивідуальний, Купити, Розширений, Міцний, Зроблено в Китаї

Тег продукту

Пов'язана категорія