VeTek Semiconductor спеціалізується на виробництві надчистих покриттів з карбіду кремнію, ці покриття призначені для нанесення на компоненти з очищеного графіту, кераміки та тугоплавких металів.
Наші покриття високої чистоти в першу чергу призначені для використання в напівпровідниковій та електронній промисловості. Вони служать захисним шаром для носіїв пластин, токоприймачів і нагрівальних елементів, захищаючи їх від корозійних і реактивних середовищ, які зустрічаються в таких процесах, як MOCVD і EPI. Ці процеси є невід’ємною частиною обробки пластин і виробництва пристроїв. Крім того, наші покриття добре підходять для застосування у вакуумних печах і нагріванні зразків, де стикаються з високим вакуумом, реактивними та кисневими середовищами.
У VeTek Semiconductor ми пропонуємо комплексне рішення з передовими можливостями машинного цеху. Це дозволяє нам виготовляти базові компоненти з графіту, кераміки або тугоплавких металів і наносити керамічні покриття SiC або TaC власними силами. Ми також надаємо послуги з нанесення покриття на надані клієнтом деталі, забезпечуючи гнучкість для задоволення різноманітних потреб.
Наші продукти з покриттям з карбіду кремнію широко використовуються в епітаксії Si, епітаксії SiC, системі MOCVD, процесу RTP/RTA, процесі травлення, процесі травлення ICP/PSS, процесі різних типів світлодіодів, включаючи сині та зелені світлодіоди, ультрафіолетові світлодіоди та глибоке УФ. Світлодіод тощо, який адаптований до обладнання LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI тощо.
Основні фізичні властивості CVD покриття SiC | |
Власність | Типове значення |
Кристалічна структура | FCC β-фаза полікристалічна, переважно (111) орієнтована |
Щільність | 3,21 г/см³ |
Твердість | Твердість за Віккерсом 2500 (навантаження 500 г) |
Розмір зерна | 2~10 мкм |
Хімічна чистота | 99,99995% |
Теплоємність | 640 Дж·кг-1·K-1 |
Температура сублімації | 2700 ℃ |
Міцність на згин | 415 МПа RT 4-точковий |
Модуль Юнга | 430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃ |
Теплопровідність | 300 Вт·м-1·K-1 |
Теплове розширення (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor є провідним виробником і новатором EPI Wafer Lift Pin у Китаї. Ми спеціалізуємося на покритті SiC на поверхні графіту протягом багатьох років. Ми пропонуємо EPI Wafer Lift Pin для процесу Epi. Завдяки високій якості та конкурентоспроможній ціні ми раді завітати на наш завод у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor пропонує повний набір компонентів для реакційних камер кремнієвої епітаксії LPE, що забезпечує тривалий термін служби, стабільну якість і покращений вихід епітаксійного шару. Наш продукт, такий як SiC Coated Barrel Suceptor, отримав відгук від клієнтів. Ми також надаємо технічну підтримку для Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy тощо. Не соромтеся запитувати інформацію про ціни.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor — це фабрика, яка поєднує в собі точну механічну обробку та можливості нанесення покриттів на напівпровідники SiC і TaC. Si Epi Susceptor бочкоподібного типу забезпечує можливості контролю температури та атмосфери, підвищуючи ефективність виробництва в процесах епітаксіального росту напівпровідників. З нетерпінням чекаємо налагодження відносин співпраці з вами.
ДетальнішеНадіслати запитЯк провідний вітчизняний виробник покриттів з карбіду кремнію та карбіду танталу, VeTek Semiconductor може забезпечити точну обробку та однорідне покриття SiC Coated Epi Susceptor, ефективно контролюючи чистоту покриття та продукту нижче 5 ppm. Термін служби продукту можна порівняти з терміном служби SGL. Ласкаво просимо до нас.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є провідним виробником і інноватором набору токоприймачів LPE Si Epi в Китаї. Протягом багатьох років ми спеціалізуємося на покритті SiC і TaC. Ми пропонуємо набір токоприймачів LPE Si Epi, розроблений спеціально для 4-дюймових пластин LPE PE2061S. Ступінь відповідності графітового матеріалу та покриття SiC хороший, рівномірність чудова, а термін служби тривалий, що може покращити продуктивність росту епітаксійного шару під час процесу LPE (рідкофазної епітаксії). Запрошуємо вас відвідати наш завод у м. Китай.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є провідним виробником і інноватором Aixtron G5 MOCVD Susceptors в Китаї. Протягом багатьох років ми спеціалізуємося на покритті SiC. Цей набір Aixtron G5 MOCVD Susceptors є універсальним і ефективним рішенням для виробництва напівпровідників із оптимальним розміром, сумісністю та високою продуктивністю. Ласкаво просимо до нас.
ДетальнішеНадіслати запит