Кремнієвий постамент

Кремнієвий токоприймач VeTek Semiconductor — це чистий кремнієвий продукт, призначений для забезпечення стабільності температури в трубі теплового реактора під час обробки кремнієвої пластини, тим самим покращуючи ефективність теплоізоляції. Обробка кремнієвої пластини є надзвичайно точним процесом, і температура відіграє вирішальну роль, безпосередньо впливаючи на товщину та однорідність плівки кремнієвої пластини.

Кремнієва підставка розташована в нижній частині труби термореактора печі, підтримуючи кремнійвафельний носійзабезпечуючи при цьому ефективну теплоізоляцію. Наприкінці процесу він поступово охолоджується до температури навколишнього середовища разом із кремнієвою пластиною-носієм.

Основні функції та переваги кремнієвих підставок VeTek Semiconductor:

Забезпечте стабільну підтримку для забезпечення точності процесу

Силіконовий п’єдестал забезпечує стабільну та високотермостійку опорну платформу для кремнієвого човна у камері високотемпературної печі. Ця стабільність може ефективно запобігти зсуву або нахилу силіконового човна під час обробки, таким чином уникаючи впливу на рівномірність повітряного потоку або руйнування розподілу температури, забезпечуючи високу точність і послідовність процесу.

Підвищення рівномірності температури в печі та покращення якості вафель

Ізолюючи кремнієвий човен від прямого контакту з дном або стінкою печі, кремнієва основа може зменшити втрати тепла, викликані провідністю, досягаючи таким чином більш рівномірного розподілу температури в термореакційній трубі. Це рівномірне теплове середовище є важливим для досягнення рівномірності дифузії пластини та оксидного шару, що значно покращує загальну якість пластини.

Оптимізуйте показники теплоізоляції та зменшіть споживання енергії

Чудові теплоізоляційні властивості кремнієвої основи допомагають зменшити втрати тепла в топковій камері, тим самим значно підвищуючи енергоефективність процесу. Цей ефективний механізм управління температурою не тільки прискорює цикл нагрівання та охолодження, але також знижує споживання енергії та експлуатаційні витрати, забезпечуючи більш економічне рішення для виробництва напівпровідників.

Технічні характеристики VeTek Semiconductor Silicon Pedestal

Виробничі цехи VeTek Semiconductor Silicon Pedestal