Окислювальні та дифузійні печі використовуються в різних галузях, таких як напівпровідникові пристрої, дискретні пристрої, оптоелектронні пристрої, силові електронні пристрої, сонячні елементи та великомасштабне виробництво інтегральних схем. Вони використовуються для процесів, включаючи дифузію, окислення, відпал, легування та спікання пластин.
VeTek Semiconductor є провідним виробником, що спеціалізується на виробництві високочистих графіту, карбіду кремнію та кварцових компонентів у окислювальних та дифузійних печах. Ми прагнемо надавати високоякісні компоненти печей для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості та знаходимося в авангарді технологій поверхневих покриттів, таких як CVD-SiC, CVD-TaC, пірокарбон тощо.
Стійкість до високих температур (до 1600 ℃)
Відмінна теплопровідність і термостабільність
Хороша стійкість до хімічної корозії
Низький коефіцієнт теплового розширення
Висока міцність і твердість
Тривалий термін служби
У окислювальних і дифузійних печах через наявність високотемпературних і корозійних газів багато компонентів вимагають використання високотемпературних і корозійно-стійких матеріалів, серед яких карбід кремнію (SiC) є широко використовуваним вибором. Нижче наведено звичайні компоненти карбіду кремнію, які використовуються в окислювальних і дифузійних печах:
Вафельний кораблик
Вафельний човен із карбіду кремнію — це контейнер, який використовується для перевезення кремнієвих пластин, які витримують високі температури та не вступають у реакцію з кремнієвими пластинами.
Печна труба
Труба печі є основним компонентом дифузійної печі, яка використовується для розміщення кремнієвих пластин і контролю середовища реакції. Труби для печей з карбіду кремнію мають чудову стійкість до високих температур і корозії.
Перегородка
Використовується для регулювання потоку повітря і розподілу температури всередині печі
Захисна трубка термопари
Використовується для захисту термопар для вимірювання температури від прямого контакту з корозійними газами.
Консольне весло
Консольні лопаті з карбіду кремнію стійкі до високих температур і корозії та використовуються для транспортування кремнієвих човнів або кварцових човнів, які перевозять кремнієві пластини в труби дифузійної печі.
Газовий інжектор
Використовується для введення реакційного газу в піч, він повинен бути стійким до високої температури та корозії.
Boat Carrier
Носій для човна з карбіду кремнію для пластин використовується для фіксації та підтримки кремнієвих пластин, які мають такі переваги, як висока міцність, стійкість до корозії та хороша структурна стабільність.
Дверцята топки
Покриття або компоненти з карбіду кремнію також можна використовувати на внутрішній стороні дверцят печі.
Нагрівальний елемент
Нагрівальні елементи з карбіду кремнію підходять для високих температур, високої потужності та можуть швидко підвищувати температуру до понад 1000 ℃.
SiC вкладиш
Використовується для захисту внутрішньої стінки пічних труб, він може допомогти зменшити втрати теплової енергії та протистояти суворим середовищам, таким як висока температура та високий тиск.
SiC Console Paddle компанії VeTek Semiconductor є дуже високоефективним продуктом. Наша консольна пластина SiC зазвичай використовується в печах термічної обробки для обробки та підтримки кремнієвих пластин, хімічного осадження з парової фази (CVD) та інших процесів обробки в процесах виробництва напівпровідників. Висока температурна стабільність і висока теплопровідність матеріалу SiC забезпечують високу ефективність і надійність процесу обробки напівпровідників. Ми прагнемо надавати високоякісні продукти за конкурентоспроможними цінами та сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником пластин карбіду кремнію в Китаї для горизонтальної печі, з багаторічним досвідом у науково-дослідних роботах і виробництві, може добре контролювати якість і пропонувати конкурентоспроможну ціну. Ви можете бути впевнені, купуючи карбідокремнієвий вафельний човен для горизонтальної печі у нас.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником у Китаї карбіду кремнію з покриттям SiC, який має багаторічний досвід у дослідженні та розробці та виробництві, може добре контролювати якість і запропонувати конкурентоспроможну ціну. Ласкаво просимо відвідати наш завод і провести подальше обговорення співпраці.
ДетальнішеНадіслати запитКонсольна пластина з карбіду кремнію VeTek Semiconductor є важливим компонентом у процесі виробництва напівпровідників, особливо підходить для дифузійних печей або печей LPCVD у високотемпературних процесах, таких як дифузія та RTP. Наша консольна пластина з карбіду кремнію ретельно розроблена та виготовлена з відмінною високотемпературною стійкістю та механічною міцністю, і може безпечно та надійно транспортувати пластини до технологічної труби в суворих умовах для різних високотемпературних процесів, таких як дифузія та RTP. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier є важливими компонентами в обробці напівпровідників, розробленими для безпечного утримання та транспортування тонких кремнієвих пластин, відіграючи ключову роль на всіх етапах виробництва. Вафельний носій з карбіду кремнію високої чистоти від VeTek Semiconductor ретельно розроблений і виготовлений для забезпечення чудової продуктивності та надійності. VeTek Semiconductor прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, і ми сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитВафельний човен з карбіду кремнію високої чистоти від VeTek Semiconductor виготовлений з надзвичайно чистого матеріалу карбіду кремнію з чудовою термічною стабільністю, механічною міцністю та хімічною стійкістю. Вафельний човен із карбіду кремнію високої чистоти використовується в гарячих зонах у виробництві напівпровідників, особливо у високотемпературному середовищі, і відіграє важливу роль у захисті пластин, транспортуванні матеріалів і підтримці стабільних процесів. VeTek Semiconductor продовжуватиме наполегливо працювати над інноваціями та покращувати продуктивність карбіду кремнію високої чистоти Wafer Boat, щоб задовольнити зростаючі потреби у виробництві напівпровідників. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит